春秋為晉地。
西漢于此置下博縣，屬信都郡。
東漢屬樂成國。
西晉屬安平國；隋代今縣為下博、衡水縣地。
開皇十六年（596）始于安平縣置深州。
唐貞觀元年(627）下博縣屬深州。
不久徙州治于陸澤（今舊州村）。
宋雍熙四年（987）下博縣改名靜安縣。
同年，深州亦移治靜安（今賈城西村東）。
金元因之。
明洪武二年（1369）靜安縣省入深州。
永樂十年（1412）州城毀于洪水，遂徙治于吳家莊（即今縣城），屬真定府。
清雍正二年（1724）深州升為直隸州。
1913年深州降為深縣。
1928年屬河北省。
1937年屬河北省第九督察區(qū)。
1938年屬冀中區(qū)一專區(qū)。
1945年屬冀中區(qū)六專區(qū)。
1949年屬河北省衡水專區(qū)。
1952年改屬石家莊專區(qū)。
1960年改屬石家莊市。
1961年還屬石家莊專區(qū)。
1962年還屬衡水專區(qū)。
1967年屬衡水地區(qū)。
1994年撤銷深縣，設(shè)立深州市（縣級）。
1996年改屬衡水市至今。